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inficon真空计的原理,你了解多少?

更新时间:2023-07-21    访问次数:819

inficon真空计是一种用于测量高真空度区域内的气体压力(空气密度低到低于大气压的范围内)的仪器。其工作原理基于气体分子与表面之间的碰撞,以及气体分子在真空条件下的运动特性。

它的种类很多,这些仪器以不同的原理来工作,例如热电子与阴极阴离子的流动、大流量吸收、容积测压与振动方式等。不同的真空计具有不同的特点和优缺点,可以根据实际需要选择合适的仪器。

inficon真空计的基本原理:

包括两个电极,其中一个电极为阳极(阴极射线管或电子枪),另一个电极为阴极(接收器)。当加上高压电源后,阳极会发射出电子束,经过真空区域时与气体分子发生碰撞,使其电离并生成电子离子对。这些离子对在电场的驱动下运动,并在阴极表面产生电流。

采用不同的电极结构和电路设计,真空计可以实现不同的测量范围和灵敏度。其中,热阴极真空计利用热电子发射的原理,在真空区域中产生电子,并通过电子与气体分子的碰撞计算气体压力;而冷阴极真空计则通过阴极表面的气体吸附和解吸来测量气压,其灵敏度比热阴极真空计高,适用于更广泛的测量范围。

总之,inficon真空计在许多应用中都有广泛的应用,例如太阳能电池、微电子领域的材料研究、半导体加工厂和航空制造厂等。不同的真空计具有不同的测量范围、体积、灵敏度等特点。因此在选择和使用真空计时,需要根据实际情况进行评估,以选择最适合的仪器。


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