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gbs晶圆表面测量光学传感器产品描述：晶片具有非常光滑的表面，因此使用基于压电陶瓷相干扫描（白光）干涉测量法的高分辨率传感器来完成相应的测量任务。虽然只有一个镜头的传感器（smartWLI compact、smartWLI firebolt）用于单个过程的在线监控，但自动晶圆测量站通常配备 smartWLI next 和 smartWLI firebolt 等传感器。这些传感器可以配备不同的镜头并用于不同的测量任务。
公司简介：
GBS 是一家基于相干扫描（白光）干涉测量法的光学 3D 传感器的公司，现在提供完整的晶圆检测系统，这些系统配置为在洁净室条件下运行。
主要产品：
3D 光学轮廓仪、光学3D 传感器
德国gbs 晶圆表面测量光学传感器产品型号：
smartWLI compact、smartWLI firebolt、smartWLI next
德国gbs 晶圆表面测量光学传感器产品介绍：
晶片具有非常光滑的表面，因此使用基于压电陶瓷相干扫描（白光）干涉测量法的高分辨率传感器来完成相应的测量任务。虽然只有一个镜头的传感器（smartWLI compact、smartWLI firebolt）用于单个过程的在线监控，但自动晶圆测量站通常配备 smartWLI next 和 smartWLI firebolt 等传感器。这些传感器可以配备不同的镜头并用于不同的测量任务。
smartWLI compact传感器将紧凑的尺寸与辨率和实惠的价格相结合。该传感器配备 2 个不同的相机和一个手动可更换物镜，是重复测量类似样品和需要相似横向分辨率的测量任务的理想选择。各种支架、花岗岩龙门、振动倾倒系统和自动倾斜装置可以允许使用 smartWLI compact 作为高性能测量的关键组件来配置定制的光学 3d 轮廓仪。
德国gbs 晶圆表面测量光学传感器技术优势：
测量点距离为 0.03 μm，横向周期极限 DLIM < 0.5 μm，可以快速轻松地测量晶圆上的小特征或测试结构，并具有高的高度分辨率
德国gbs 晶圆表面测量光学传感器应用领域：
超抛光 SiC 表面、抛光晶圆、研磨硅片、黑硅、结构化晶圆表面测量。
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