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Sens4真空计

更新时间:2026-03-19    浏览量:1

产品描述:Sens4(Sens4 A/S)是一家总部位于丹麦的科技公司,专注于工业和科学用途的真空、压力和温度测量设备的研发、制造与全球分销。公司致力于为客户提供高性价比的测量解决方案,其产品广泛应用于半导体、光学、LED、太阳能电池、平板显示器以及制药等行业。Sens4 拥有多种集成式传感器技术,能够在严苛的工业环境中提供可靠的测量性能。

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公司简介:

Sens4Sens4 A/S)是一家总部位于丹麦的科技公司,专注于工业和科学用途的真空、压力和温度测量设备的研发、制造与全球分销。公司致力于为客户提供高性价比的测量解决方案,其产品广泛应用于半导体、光学、LED、太阳能电池、平板显示器以及制药等行业。Sens4 拥有多种集成式传感器技术,能够在严苛的工业环境中提供可靠的测量性能。

 

主要产品

丹麦Sens4真空计VPM-17 TriCAP

Sens4真空变送器VCM-1

Sens4真空计

Sens4真空变送器

Sens4隔膜真空计

Sens4电离真空计

Sens4传感器模块

Sens4压力变送器

Sens4温度变送器

 

主要型号

以下是丹麦Sens4真空计下的部分核心型号(涵盖真空计及相关传感器):

丹麦Sens4真空计VPM-17 TriCAP™:集成式真空变送器,结合 Pirani CDG 传感器,提供从 1×10⁻⁶ 到 1333 mbar 的超宽测量范围。

Sens4真空计VPM-15 TriCAP™:TriCAP 系列的另一型号,适用于不同的功率和安装需求。

Sens4真空计VPM-7 SmartPirani™:专注于负载锁(Load-lock)控制的 SmartPirani 真空传感器。

Sens4真空计VCM-1 系列:真空计系列,适用于精密测量场景。

Sens4真空计VDM-2 / VDM-5:真空计和真空变送器型号,提供不同的接口和精度选择。

 

产品介绍:

Sens4真空计VPM-17 TriCAP™ 是 Sens4 的旗舰产品之一,旨在为广泛的真空应用提供一体化测量解决方案。

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技术参数:

Sens4真空计VPM-17 TriCAP

测量范围:1×10⁻⁶ 至 1333 mbar(覆盖 9 个数量级)。

气体独立测量范围:5.0×10⁻³ 至 1333 mbar(覆盖 6 个数量级)。

传感技术:

MEMS Pirani 热损耗传感器:用于低真空(低至 1×10⁻⁶ mbar)测量。

高精度电容式膜片真空计(CDG)传感器:用于中高真空测量,具备气体无关性。

Sens4真空计VPM-17 TriCAP输出方式:支持模拟电压输出(1 VDC/十倍刻度)以及数字接口(RS-232/RS-485)。

附加功能:具备自动电容膜敏感器零点校准、温度测量信号输出以及环境压力参考输出。

防护选项:提供陶瓷或聚四氟乙烯(Parylene)保护涂层,以适应腐蚀性环境。

 

工作原理:

Sens4真空计VPM-17 TriCAP™ 采用了“三重技术(TriCAP™)‍”设计:

热导率测量(Pirani)‍:利用气体热传导性来估算压力,适合快速测量低真空。

电容式膜片测量(CDG)‍:通过测量膜片在不同压力下的变形程度来计算压力,提供高精度的气体独立测量。

Sens4真空计VPM-17 TriCAP气体无关性:通过结合上述两种技术,即使在气体成分波动的环境中(如半导体工艺),也能保持测量的准确性

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